低温泵工作原理(低温泵工作原理动画)

其实低温泵工作原理的问题并不复杂，但是又很多的朋友都不太了解低温泵工作原理动画，因此呢，今天小编就来为大家分享低温泵工作原理的一些知识，希望可以帮助到大家，下面我们一起来看看这个问题的分析吧！

本文目录

1. cryo pump原理
2. 低温液体泵的密封原理
3. 什么是泵再生

cryo pump原理

低温泵(cryopump)

利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力zui低、抽气速率zui大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

低温液体泵的密封原理

.当活冷(或柱塞)从左向右移动时，泵缸中的容积增加，压力降低。当进入管道的液体压力大于泵缸内的压力时，液体打开吸入阀，在压力差的作用下进入泵缸。将传动箱的曲柄转动180ordm活冷向左移动。由于低温液体基本不可压缩，低温液体立即被活塞压缩，压力迅速上升。直到泵缸内液体的压力大到足以打开排出阀，低温液体通过排出阀输出到排水管道。

什么是泵再生

低温泵的再生是使泵内吸附凝结所贮存的气体解析和脱附的过程，再生的方式有多种，其所需时间和再生效果也有所不同。

从原理上讲，低温泵捕集的气体可以以固态、气态或液态方式除去，由于以固态方式除去冷凝物存在一定的技术难度，所以目前大多低温泵所采用的都是后两种方式。根据加热方式的不同，再生方式一般分为：自然加热再生、气体冲洗再生、电加热再生三种类型。

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